電子廠凈化解決方案及規(guī)范
1、GB50472-2014電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
2、GB50073-2013潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范
3、《潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范》GB50591-2010
4、空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)手冊(cè)(第二版)
電子凈化車間解決方案及規(guī)范
服務(wù)領(lǐng)域:光伏、精密電子、半導(dǎo)體、LED、測(cè)試與封裝、光導(dǎo)纖維、鋰電池、光學(xué)等。
凈化方案一:
組合式空氣處理機(jī)組+冷水機(jī)組+高效送風(fēng)口
這是一個(gè)較傳統(tǒng)的凈化空調(diào)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)方案。組合式空氣處理機(jī)組里含有各種功能段,如混合段、初效過濾段、表冷段、二次回風(fēng)段(或中間段)、加熱段、加濕段、中效過濾段、風(fēng)機(jī)段等。其冷源由冷水機(jī)組提供。
方案特點(diǎn):
A.建議新風(fēng)經(jīng)過集中處理后再與回風(fēng)混合,這樣可以減少表冷段的冷處理負(fù)擔(dān);
C.這類方案一般可以適用潔凈度較高的如百級(jí)、千級(jí)或萬級(jí)、十萬級(jí)等較低的凈化無塵廠房。
凈化方案二:
水冷柜機(jī)+增壓風(fēng)柜+高效送風(fēng)口
與前種方案比較,這是相對(duì)比較簡(jiǎn)單的空調(diào)方案。它可以大大地縮小機(jī)房的面積,水冷柜機(jī)可以根據(jù)具體的情況布置于較小機(jī)房?jī)?nèi)或凈化車間內(nèi),增壓風(fēng)柜也可以布置于機(jī)房?jī)?nèi)或吊在機(jī)房?jī)?nèi)或在夾層內(nèi)。
方案特點(diǎn):
這種方案可以是一次回風(fēng)也可以是二次回風(fēng),具體根據(jù)車間的大小情況而定;這類方案一般可以適用于潔凈度為千級(jí)、萬級(jí)、十萬級(jí)等的凈化無塵廠房。
凈化方案三:
分體空調(diào)柜機(jī)+FFU送風(fēng)口
這是較簡(jiǎn)易的一個(gè)空調(diào)方案。是直接將分體空調(diào)柜機(jī)布置于車間內(nèi),并用彩鋼圍護(hù)起來,在柜機(jī)回風(fēng)口處再在彩鋼板上開回風(fēng)口(帶初效過濾網(wǎng));KLC風(fēng)機(jī)過濾單元FFU均勻布置于吊頂天花。這個(gè)方案適用于對(duì)室內(nèi)溫濕度精度要求不高的無塵車間。
方案特點(diǎn):
A、無塵車間的潔凈度:LCD制屏的簡(jiǎn)略流程為:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷層散布隔墊物→組合→劃線和切割→LC注入→貼偏振片→制屏終檢。
B、溫濕度要求:溫度一般為24+2℃,相對(duì)濕度為55+5%。
C、新風(fēng)量大
D、送風(fēng)量大
等級(jí)說明及車間應(yīng)用
1級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于制造集成電路的微電子工 業(yè),對(duì)集成電路的精確要求為亞微米
10級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于帶寬小于2微米的半導(dǎo)體工業(yè)
100級(jí) 很多人認(rèn)為,這一級(jí)無塵車間是較常用因而是較重要的無塵車間,人們常常錯(cuò)誤地將100級(jí)潔凈室稱為無菌室,以說明“無菌”的或“無塵”的環(huán)境要求,100級(jí)無塵室可用于醫(yī)藥工業(yè)的無菌制造工藝等,這一潔凈室大量應(yīng)用于,植如體內(nèi)物品的制造,外科手術(shù),包括移植手術(shù),集成器的制造,那些對(duì)細(xì)菌感染特別敏感的病人的隔離治療,比如像骨髓移植病人術(shù)后的隔離治療
1000級(jí) 這個(gè)級(jí)別的無塵車間主要用于高質(zhì)量光學(xué)產(chǎn)品的生產(chǎn),還用于測(cè)試,裝配飛機(jī)蛇螺儀,裝配高質(zhì)微型軸承等
10000級(jí) 萬級(jí)無塵車間用于液壓設(shè)備或氣壓設(shè)備的裝配,某些情況下也用于食品飲料工業(yè),此外,萬級(jí)無塵車間在醫(yī)工業(yè)中也很常用
100000級(jí) 十萬級(jí)無塵車間用于很多的工業(yè)部門,比如光學(xué)產(chǎn)品的制造,用于較小的元器件制造大型的電子系統(tǒng),液壓或氣壓系統(tǒng)的制造,食品飲料的生產(chǎn),醫(yī)、藥工業(yè)也常常使用這一級(jí)無塵車間
電子車間濕度略高以免產(chǎn)生靜電
需要凈化區(qū)域一般包括:
1、潔凈生產(chǎn)區(qū)
2、潔凈輔助間(包括人員凈化用房、物料凈化用室和部分生活用室等)
3、管理區(qū)(包括辦公、值班、管理和休息等)
4、設(shè)備區(qū)(包括凈化空調(diào)系統(tǒng)應(yīng)用、電氣用房、高純水和高純氣用房、冷熱設(shè)備用房)
結(jié)構(gòu)材料:
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。
光學(xué)微電子凈化工程亦名無塵室或清凈室,目前已是半導(dǎo)體、精密制造、液晶制造、光學(xué)制造、線路板制造和生物化學(xué)、醫(yī)藥、食品制造等行業(yè)不可或缺的重要設(shè)施。近幾年來,由于技術(shù)之創(chuàng)新發(fā)展,對(duì)于產(chǎn)品的高精密度化、細(xì)小型化之需求更為迫切,如超大型積體電路之研究制造,已成為世界各國(guó)在科技發(fā)展上極為重視的項(xiàng)目,而我公司的設(shè)計(jì)理念及施工技術(shù)在行業(yè)中則處于領(lǐng)先地位。
光學(xué)微電子凈化工程結(jié)構(gòu)材料:
1、凈化廠房墻、頂板材一般多采用50mm厚的夾芯彩鋼板制造,其特點(diǎn)為美觀、剛性強(qiáng)。圓弧墻角、門、窗框等一般采用專用氧化鋁型材制造。
2、地面可采用環(huán)氧自流坪地坪或高級(jí)耐磨塑料地板,有防靜電要求的,可選用防靜電型。
3、送回風(fēng)管道用熱渡鋅板制成,貼凈化保溫效果好的阻燃型PF發(fā)泡塑膠板。
4、高效送風(fēng)口用不銹鋼框架,美觀清潔,沖孔網(wǎng)板用烤漆鋁板,不生銹不粘塵,宜清潔。